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Sensofar 光谱反射

光谱反射能快速、精确、无损地测量薄膜,且无需制备任何样本。

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Sensofar 光谱 反射

光谱反射能快速、精确、无损地测量薄膜,且无需制备任何样本。

背景

薄膜

透明层沉积在表面上时,其反射率会变化。该系统获取可见范围内样本的反射光谱,并与软件计算的模拟光谱进行比较,对层厚进行修改,直到找到最佳拟合。对于薄膜,厚度与光波长类似,我们沿着光谱获得波浪状的反射率响应。

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主要特征

从 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的时间内测得

  从 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜

  不到 5 秒内采集

  一个物镜可覆盖 整个 范围

  不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm) 

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光谱反射系统

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