改进设计

技术

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共聚焦

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干涉

PSI | ePSI | CSI

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Ai 多焦面叠加

光源

icon_RedLight

630nm

icon_GreenLight

530nm

icon_BlueLight

460nm

icon_WhiteLight

575nm

尺寸

mm (英寸)

基座和立柱

控制台

物镜性能

明场
MAG 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
WD (mm) 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 1.5
FOV1 (µm) 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141 113 x 94
Spatial sampling2 (µm) 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07 0.05
Optical resolution3 (µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.16 0.16

共聚焦 / Ai 多焦面叠加

MAG 5X 10X 20X 50X 100X 150X
System noise4 (nm) 100 30 8 4 3 2
Maximum slope5 (º) 9 17 27 53 64 64

1最大视场系 3/2” 摄像头及光学 0.5X。  2表面的像素大小。 3 L&S:线条和空间, 蓝光波长。 4根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。  5在光滑表面上,最多71º。在散射表面上,高达 86º

干涉
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (µm) 6756 x 5652 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141
Spatial sampling2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07
Optical resolution3 (µm) 1.87 1.08 0.47 0.35 0.26 0.20

PSI / ePSI / CSI

MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
System noise4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm with PZT)        CSI 1 nm
Maximum slope5 (º) 4 7 17 24 33 44

1最大视场系 2/3” 摄像头及光学 0.5X。  2表面的像素大小。  3 L&S:线条和空间蓝光波长。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。对于干涉测量物镜、PSI,防震开启,10个相位平均值。控温房间,压电平台扫描仪实现0.01nm。绿色LED值(白色LED用于CSI)高清分辨率   5在光滑表面上,最多71º。在散射表面上,高达 86º。

XYZ轴性能

XY
XY Motorized
Manual S M L XL
Travel range (mm) 40 x 40 114 x 75 154 x 154 255 x 245 302 x 302
Z
Z COARSE (Linear stage) FINE (Piezoelectric scanner with capacitive sensor)
Vertical range 40 mm 200 µm
Resolution 5 nm 0.5 nm

系统配置

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计算机和操作系统

photoProduct_Sneox090ComputerDimensions
计算机 Latest INTEL processor
Screen 3840×2160 pixels resolution (4K)(27″)
操作系统 Microsoft Windows 10, 64-bits
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