技术

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共聚焦

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干涉
VSI

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多焦面叠加

光源

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550nm

尺寸

物镜性能

明场
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.075 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.95
WD (mm) 6.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2
FOV1 (µm) 7016 x 5280 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132 117 x 88
Spatial sampling2 (µm) 5.16 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13 0.09
Optical resolution3 (µm) 2.23 1.11 0.55 0.37 0.21 0.18 0.17
Measurement time4 (s) >3

共聚焦

Vertical resolution5 (nm) 75 25 8 3 2 1
Maximum slope6 (º) 8 14 21 42 51 71

多焦面叠加

Min. measurable roughness Sa > 10 nm
Maximum slope up to 86º

其他可选物镜水浸物镜、超长工作距离物镜、加长工作距离物镜、焦深调节环物镜

1 最大视场系2/3” 摄像头及光学0.5X2 表面的像素大小。3 由瑞利准则内衍射极限的一半计算所得并用白色LED照明。干涉镜头下,像素分辨率可能制约了光学分辨率。 4 针对共聚焦,扫描21 层。5 根据比较连续两次测量校准镜片得到的差异计算系统噪音值。6 光滑表面,斜度高达86º 的粗糙表面。

干涉
MAG 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (µm) 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132
Spatial sampling2 (µm) 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13
Optical resolution3 (µm) 2.58 1.29 0.65 0.25 0.20
Measurement time4 (s) >3

VSI

Vertical resolution5 (nm) 1
Maximum slope6 (º) 8 14 21 25 42

其他可选物镜可变反射率,MichelsonMirau Linnik

1 最大视场系2/3” 摄像头及光学0.5X2 表面的像素大小。3 由瑞利准则内衍射极限的一半计算所得并用白色LED照明。干涉镜头下,像素分辨率可能制约了光学分辨率。 4 扫描范围10μm5 根据比较连续两次测量校准镜片得到的差异计算系统噪音值。PSI,防震开启,10 个相位平均值。控温房间,Piezo支架可实现0.01 nm6 光滑表面,斜度高达86º 的粗糙表面。

Z 轴性能

Z LINEAR SCALE
Vertical range 40 mm (1.6″)
Linearity <0.5 µm/mm
Resolution 2 nm

计算机和操作系统

photoProduct_SlynxComputerDimensions
计算机 HP Z230SSF
Screen HP27i 2560×1440 px
操作系统 Microsoft Windows 10, 64-位
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