技术

S mart
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 共聚焦

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干涉

VSI

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多焦面叠加

S onix
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干涉

VSI

光源

icon_WhiteLight

550nm

尺寸

S mart
photoProduct_SmartSensorhead
photoProduct_SmartControllerDimensions
S onix
photoProduct_SonixSensorheadDimensions
photoProduct_SonixControllerDimensions

物镜性能

S mart

明场

MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.075 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
WD (mm) 6.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2
FOV1 (µm) 7016 x 5280 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132 117 x 88
Spatial sampling2 (µm) 5.52 2.76 1.38 0.69 0.28 0.14 0.09
Optical resolution3 (µm) 2.23 1.11 0.55 0.37 0.21 0.18 0.17
Measurement time4 (s) >3

共聚焦

Vertical resolution5 (nm) 300 75 25 8 3 2 1
Maximum slope6 (º) 3 8 14 21 42 51 71

多焦面叠加

Min. measurable roughness Sa > 10 nm
Maximum slope (º) up to 86º

其他可选物镜水浸物镜、超长工作距离物镜、加长工作距离物镜、焦深调节环物镜

1 最大视场系2/3” 摄像头及光学0.5X2 表面的像素大小。3 L&S: 根据瑞利准则计算半衍射极限。蓝光波长。 4 针对共聚焦,扫描21 层。5 根据比较连续两次测量校准镜片得到的差异计算系统噪音值。6 光滑表面,斜度高达86º 的粗糙表面。

干涉技术

MAG 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (µm) 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132
Spatial sampling2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.28 0.14
Optical resolution3 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.30 0.24
Measurement time4 (s) >3

VSI

Vertical resolution5 (nm) 1
Maximum slope6 (º) 3 8 14 21 42

其他可选物镜可变反射率,MichelsonMirau Linnik

1 最大视场系2/3” 摄像头及光学0.5X2 表面的像素大小。3 L&S: 根据瑞利准则计算半衍射极限。蓝光波长。 4 扫描范围10μm5 根据比较连续两次测量校准镜片得到的差异计算系统噪音值。PSI,防震开启,10 个相位平均值。控温房间,Piezo支架可实现0.01 nm6 光滑表面,斜度高达86º 的粗糙表面。

S onix

干涉技术

MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (µm) 5040 x 3780 2520 x 1890 1260 x 945 630 x 472 252 x 189 126 x 94
Spatial sampling2 (µm) 7.88 3.94 1.97 0.98 0.39 0.19
Optical resolution3 (µm) 7.88 3.94 1.97 0.98 0.39 0.24
Measurement time4 (µm/s) 25

VSI

Vertical resolution5 (nm) 1
Maximum slope6 (º) 3 8 14 21 25 42

其他可选物镜可变反射率,MichelsonMirau Linnik

1 最大视场系2/3” 摄像头及光学0.5X2 表面的像素大小。3 L&S: 根据瑞利准则计算半衍射极限。蓝光波长。 4 扫描范围10μm5 根据比较连续两次测量校准镜片得到的差异计算系统噪音值。PSI,防震开启,10 个相位平均值。控温房间,Piezo支架可实现0.01 nm6 光滑表面,斜度高达86º 的粗糙表面。

Z 轴性能

Z LINEAR SCALE
Vertical range 40 mm (1.6″)
Linearity <0.5 µm/mm
Resolution 2 nm

软件

S mart
User management rights Administrator, advanced operator, operator
Acquisition technologies Confocal, VSI and Focus Variation
Measurement types Image, 3D, 3D thickness, profile and coordinates
Advanced software analysis SensoMAP and SensoPRO
Remote control Software Development Kit (SDK) (optional)
S onix
User management rights Administrator, advanced operator, operator
Acquisition technologies VSI
Measurement types Image, 3D, 3D thickness
Advanced software analysis SensoMAP and SensoPRO
Remote control Software Development Kit (SDK) (optional)

计算机和操作系统

S mart
photoProduct_SMartComputerDimensions
计算机 HP Z240SSF
Screen HP27i 2560×1440 px
操作系统 Microsoft Windows 10, 64-位
S onix
photoProduct_SonixComputerDimensions
计算机 HP Z240SSF
Screen HP23i 1920×1080 px
操作系统 Microsoft Windows 10, 64-位
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